P dotiertes Zinkoxid, durchsichtig.
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Re: P dotiertes Zinkoxid, durchsichtig.
Sehr interessant .
- mgritsch
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Re: P dotiertes Zinkoxid, durchsichtig.
Aufdampfen von Metallen ist zum dotieren sogar ziemlich ungeeignet. Damit erzeugt man nur eine leitende Schicht, somit eher zum kontaktieren.
Dotiert wird entweder bereits im Basismaterial durch Beimischung das dann auf die Oberfläche aufgebracht wird (aufdampfen, aufsputtern), mittels CVD aus einem Precursor- Gasgemisch erzeugt oder es wird zuerst eine reine Schicht aufgebracht, in die dann mit einem Ionenstrahl die Dotierung hinein „geschossen“ wird. Durch geeignete Wahl von Spannung, Winkel & Dosis sind geradezu beliebige Implantationsprofile möglich.
Dotiert wird entweder bereits im Basismaterial durch Beimischung das dann auf die Oberfläche aufgebracht wird (aufdampfen, aufsputtern), mittels CVD aus einem Precursor- Gasgemisch erzeugt oder es wird zuerst eine reine Schicht aufgebracht, in die dann mit einem Ionenstrahl die Dotierung hinein „geschossen“ wird. Durch geeignete Wahl von Spannung, Winkel & Dosis sind geradezu beliebige Implantationsprofile möglich.